術(shù)語：

在潔凈室設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001中，對(duì)潔凈室進(jìn)行了以下三種定義：

空氣竣工潔凈室試驗(yàn)

設(shè)施已建成，全部電力連接和運(yùn)行，但沒有生產(chǎn)設(shè)備、材料和人員。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對(duì)廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。無塵車間目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級(jí)，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對(duì)較小。另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。無塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

靜態(tài) at-rest

該設(shè)施已經(jīng)完工，生產(chǎn)設(shè)備已在業(yè)主和工匠的同意下安裝和操作，但沒有生產(chǎn)人員。

動(dòng)態(tài) operational

該設(shè)施處于規(guī)定的運(yùn)行狀態(tài)，具有指定人員并在商定的狀態(tài)下工作。

根據(jù)ISO14644，潔凈室試驗(yàn)階段劃分如下：

檢測(cè)潔凈室的安裝(iq)

靜態(tài)潔凈室運(yùn)行質(zhì)量檢測(cè)（OQ）

動(dòng)態(tài)潔凈室測(cè)試性能認(rèn)證（PQ）

空潔凈室檢查（IQ）

檢查空的清洗室和安裝的設(shè)備是否符合設(shè)計(jì)，并至少檢查以下各點(diǎn)：

一、潔凈室設(shè)備組；

2.所有能量載體和過程介質(zhì)的供應(yīng)是否符合設(shè)計(jì)要求;

三。公用及輔助設(shè)備功能是否正常運(yùn)行；

4、于是控制系統(tǒng)、監(jiān)視器、報(bào)警報(bào)警核實(shí)日期；

5、安裝質(zhì)量；

6.安裝過濾器的完整性；

7.電源和設(shè)備是否備份，包括空氣處理設(shè)備的風(fēng)量;

8、壓差；

9、氣流特性；

10。保持結(jié)構(gòu)的限制；

檢查循環(huán)空氣與室外空氣的比例是否符合設(shè)計(jì)要求；

12、表面潔凈度；

13、包內(nèi)是否有備件。

檢查HEPA過濾器的完整性非常重要，這對(duì)ISO6，ISO5和更高級(jí)的凈化設(shè)備尤其重要。應(yīng)檢查表面潔凈度和維護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性。

靜電潔凈室檢測(cè)

這一階段的測(cè)試至少應(yīng)完成以下工作：

1.確認(rèn)潔凈區(qū)域劃分原則是否符合要求；

2.確定污染程度增加后潔凈室的自潔時(shí)間參數(shù);

三。測(cè)定溫度和相對(duì)濕度的穩(wěn)定性。

4、根據(jù)顆粒的數(shù)量來確定潔凈度水平；

5、確定壓差；

6.表面潔凈度應(yīng)根據(jù)所需部位的顆粒和微生物污染水平來確定；

7、確定照度；

8、確定噪聲級(jí)；

9.目視檢查氣流并使用必要的工具檢查換氣次數(shù);

10。將數(shù)據(jù)結(jié)果寫入書面文檔。