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光電廠潔凈室檢驗參考報告 光電廠潔凈室檢驗參考報告 潔凈室檢測報告1 檢測區(qū)域 檢測指標(biāo) 計量單位 設(shè)計級別 技術(shù)要求 檢測結(jié)果 結(jié)論 邊反車間 懸浮粒子平均濃度 粒/m3 10000級 0.5u
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