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無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，利用高機能的過濾器即可輕易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場因為作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的整機資料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無塵室內(nèi)該如何避免微粒子沾染呢？應依照下列四項基本準則：

　　一、不攜入在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：
1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、整機攜入前應進行清潔處理；
2）進入無塵室者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特別導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通過風淋室時利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后，才干進入無塵室。
4）機器及資料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀況下帶進無塵室前室頤養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。
5）無塵室中須全程衣著密閉式保險帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　二、不產(chǎn)生
在把持最大沾染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應把持第二大沾染源—制造機臺的發(fā)塵量。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。因物品在挪動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在挪動時也會有微粒子的產(chǎn)生。故為了把持發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：
1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作狀況；
2）采取磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；
3）采取發(fā)塵小的潤滑油；
4）機臺利用空壓浮上的非接觸化工作原理。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

　　三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧，無塵室內(nèi)的清潔度就可能堅持。但事實中人跟物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在寬大的無塵室內(nèi)要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過濾器中利用以除去已產(chǎn)生的微粒子變得十分重要。通常已產(chǎn)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動及不牢固的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子沾染的危險性。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣跟完全過濾空氣完全交換所盤算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無阻，因為在流暢途徑中有妨礙物的話，輕易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得鄰近已產(chǎn)生的微粒子無奈疾速消除而長時光漂流在無塵室內(nèi)，而一局部會附著在周邊機器設(shè)備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積，但對帶電名義的微粒累積就無奈避免。
無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，利用高機能的過濾器即可輕易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場因為作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的整機資料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無塵室內(nèi)該如何避免微粒子沾染呢？應依照下列四項基本準則：

　　一、不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：
1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、整機攜入前應進行清潔處理；
2）進入無塵室者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特別導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通過風淋室時利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后，才干進入無塵室。
4）機器及資料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀況下帶進無塵室前室頤養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。
5）無塵室中須全程衣著密閉式保險帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　二、不產(chǎn)生
在把持最大沾染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應把持第二大沾染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在挪動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在挪動時也會有微粒子的產(chǎn)生。故為了把持發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：
1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作狀況；
2）采取磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；
3）采取發(fā)塵小的潤滑油；
4）機臺利用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧，無塵室內(nèi)的清潔度就可能堅持。但事實中人跟物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在寬大的無塵室內(nèi)要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過濾器中利用以除去已產(chǎn)生的微粒子變得十分重要。通常已產(chǎn)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動及不牢固的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子沾染的危險性。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣跟完全過濾空氣完全交換所盤算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無阻，因為在流暢途徑中有妨礙物的話，輕易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得鄰近已產(chǎn)生的微粒子無奈疾速消除而長時光漂流在無塵室內(nèi)，而一局部會附著在周邊機器設(shè)備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積，但對帶電名義的微粒累積就無奈避免。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。