我國的潔凈技術(shù)和設(shè)備與國外先進(jìn)國家相比相距是明顯的，我國1965年才開始生產(chǎn)(Produce)的HEPA，經(jīng)國外晚了
十五年。1975年開始生產(chǎn)的光散射塵埃粒子計數(shù)器比國外晚了二十年。0。1微米潔凈技術(shù)和設(shè)備在國際上先
進(jìn)國家已成為成熟技術(shù)，我國則剛剛起步。

世界各工業(yè)先進(jìn)國家為適應(yīng)超凈技術(shù)的發(fā)展，對大量使用的高效過濾器的研究（research)從未中斷，幾年來一起在開
發(fā)不同結(jié)構(gòu)不同性能的新產(chǎn)品，美國自1979年開始研制0。1微米ULPA過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)，1984攫美國AAF公司開始生產(chǎn)
0。1微米無隔板ULPA過濾器，目前，為0。1微米ULPA過濾器在美國 AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDG
公司已形成商品生產(chǎn)。凈化設(shè)備控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。日本也已成為世界上生產(chǎn)0。1微米ULPA過渡器廠家最多的國家，品種繁多，產(chǎn)品系列
化，尤其是低壓損型0。1微米ULPA過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術(shù)難題。國際市場對高效空氣過渡
器的需要量很大，且每年均有增長，目前日本每年銷售(Sales)超過100萬臺，按每臺平均價格200美元(USD)計算，銷售
額達(dá)2億美元(USD)。我國高效空氣過渡器的需要量已接近每年10萬臺，占國際市場的2%~4%，但至今還沒有
0。1微米ULPA過渡（transition)器生產(chǎn)，用于越大規(guī)模集成電路生產(chǎn)潔凈廠房及各種高科技領(lǐng)域潔凈廠房的0。1微米
ULPA過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)目前還依賴進(jìn)口。

在潔凈室建設(shè)規(guī)模的技術(shù)水平上，我國與先進(jìn)國家差距更大。日本清水建設(shè)公司一家，1982年到1987年
期間承建的潔凈室面積達(dá)81。8萬平方米，而這期間，我國一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平米，但八五
期間有較大發(fā)展，1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設(shè)規(guī)模更大，1998年統(tǒng)計
已達(dá)188。風(fēng)淋室是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。5萬平方米。在潔凈室工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0。1微米級的超凈室，1987年
日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制（control)0。1微米塵埃的千級
廠房，換氣次數(shù)高達(dá)300次/分。

美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。我國使用的0。1微米十級潔
凈室主要依賴從國外進(jìn)口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0。1微米十級潔凈室每平方米造價高達(dá)
1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資(意義:是未來收益的累積)中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更
新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國
ASYAT公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。
該項最新的潔凈技在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部（part)使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資(意義:是未來收益的累積)比例
壓縮到高級別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運行的二次污染源生產(chǎn)對集成電路成品率和可靠性的影
響作用。

潔凈技術(shù)和裝備的國際市場十分巨大，日本到80年代末、90年代初潔凈技術(shù)和設(shè)備的銷售額已突破35億
美元(USD)。美國和西歐等先進(jìn)國家潔凈設(shè)備的基礎(chǔ)部件的銷售(Sales)額憶達(dá)73億美元。據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會
統(tǒng)計，我國主要八家最大的凈化設(shè)備廠的銷售額在1990年為8217萬無，還不足1億，1993年達(dá)到14495萬元。消毒器對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。
占國際市場銷售額的0。34%。但隨著我國高新技術(shù)的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光
電器件工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥工業(yè)的發(fā)展，我國潛在的巨大的潔凈技術(shù)產(chǎn)品市場，以每年40%~50%的增長
速度在增加。