潔凈生產(chǎn)環(huán)境(潔凈廠房、潔凈室)先后使用過(guò)無(wú)塵室、無(wú)窗廠房、密閉廠房、空氣懸浮粒子受控的房間等概念。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對(duì)微生物污染采取程度不同的控制，達(dá)到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求；并提供適宜的溫、濕度，創(chuàng)造一個(gè)潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴(yán)格控制低細(xì)菌數(shù)及低麻醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗(yàn)收指標(biāo)。手術(shù)室凈化確保手術(shù)臺(tái)潔凈度達(dá)標(biāo)，一般多采用垂直層流式效果較好　層流手術(shù)室是一個(gè)"正壓"環(huán)境，其空氣壓力根據(jù)其不同區(qū)域（如手術(shù)間、無(wú)菌準(zhǔn)備間、刷手間、麻醉間和周圍干凈區(qū)域等）潔凈度不同要求而不同。潔凈手術(shù)室按不同?？?，手術(shù)間又可分為普外、骨科、婦產(chǎn)科、腦外科、心胸外科、泌尿外科。燒傷科、五官科等手術(shù)間。由于各專科的手術(shù)往往需要配置專門的設(shè)備及器械，因此，?？剖中g(shù)的手術(shù)間宜相對(duì)固定。潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造和使用應(yīng)做到不引入或少引入微粒,不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒,不滯留或少滯留微粒。此外,潔凈廠房還對(duì)溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制。而根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)要求需對(duì)潔凈室內(nèi)的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動(dòng)、靜電等進(jìn)行控制。　　

產(chǎn)品生產(chǎn)促進(jìn)清潔技術(shù)的發(fā)展

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)品生產(chǎn)的更新，特別是軍工、電子、航天、生物醫(yī)學(xué)等行業(yè)的發(fā)展，國(guó)內(nèi)外清潔技術(shù)的發(fā)展也在不斷變化?，F(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品和現(xiàn)代科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要小型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。以小型化為例，計(jì)算機(jī)已經(jīng)從放置在幾個(gè)房間里的巨大單元發(fā)展到今天的便攜式筆記本。同時(shí)，它所使用的電子元件也從電子管到半導(dǎo)體分立器件，再到集成電路和大規(guī)模集成電路；集成電路的線寬也從幾微米發(fā)展到今天的45納米。這些新的科技產(chǎn)品要求有嚴(yán)格的清潔生產(chǎn)環(huán)境。清潔技術(shù)是以產(chǎn)品生產(chǎn)日益嚴(yán)格的要求為基礎(chǔ)，對(duì)清潔生產(chǎn)環(huán)境中污染物的控制、控制方法和控制設(shè)施。

潔凈技術(shù)是一門綜合技術(shù),其核心技術(shù)包括生產(chǎn)工藝技術(shù)及其工藝設(shè)計(jì)、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業(yè)技術(shù)(如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質(zhì)高純水、高純氣、高純化學(xué)品的相關(guān)專業(yè)技術(shù)等)。這些專業(yè)技術(shù)在潔凈室設(shè)計(jì)中都是不可缺少的,它們必須密切配合,圍繞著產(chǎn)品生產(chǎn)的需要,相互協(xié)調(diào)、統(tǒng)籌安排。潔凈廠房的設(shè)計(jì)和建造就是要在做好各相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,做好各項(xiàng)安全設(shè)施消防、防火、防爆、安全報(bào)警,確保潔凈室的安全運(yùn)行。與此同時(shí),它還要處理好電源、冷源、熱源等動(dòng)力供應(yīng),節(jié)約能源;安排好各類配管配線,確保各種流體介質(zhì)的輸送質(zhì)量,減少材料消耗,方便施工安裝和運(yùn)行維護(hù)?！　?

微電子對(duì)清潔技術(shù)的新要求

電子產(chǎn)品，特別是微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，取決于清潔技術(shù)的發(fā)展，或者說(shuō)清潔技術(shù)的發(fā)展是由微電子產(chǎn)品的升級(jí)推動(dòng)的。

電子產(chǎn)品潔凈室對(duì)空氣潔凈度和各種雜質(zhì)的控制有嚴(yán)格的要求。半導(dǎo)體集成電路制造是一項(xiàng)高科技制造技術(shù)。它使用高精度機(jī)械將物理，化學(xué)，電子和機(jī)械技術(shù)集成到制造過(guò)程中。為了獲得高質(zhì)量和高產(chǎn)量的微電子產(chǎn)品，必須嚴(yán)格控制芯片缺陷。