靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)是凈化車間最難控制（control)的因素(factor)之一,靜電會增加半導體(semiconductor)器件生產(chǎn)(Produce)中的廢品增多并降低（reduce)電子設備的可靠性。電子廠凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。因此，在半導體器件的生產(chǎn)中，必須防止靜電對器件的作用。有許多方法可以消除靜電，對于具有防靜電環(huán)境要求的凈化車間工程，通常使用以下方法：
1、凈化車間需選用合適的材料：
凈化車間裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流(Electron flow)能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。
2、接地：
接地是帶電導體消除靜電最為普遍、經(jīng)濟、簡便、可靠的方法。
(1) 凈化車間內(nèi)可能（maybe)產(chǎn)生靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施（指針對問題的解決辦法)。電子廠凈化車間送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
(2) 電子工業(yè)潔凈室的圍護結構(吊頂、地面、墻、柱)應采用防靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
(3) 工藝設備接地。
(4)凈化車間的辦公設備應采用能防靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)的材料制成并接地。
(5)凈化車間工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
3、中和：
將帶電體(靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷))周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場(定義:傳遞實物間磁力作用的場)（electromagnetic field)作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷(electric charge)達到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電 子和離子的裝置，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。凈化車間的絕緣材料(合成樹脂)表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控制：
在眾多消除靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)的方法中，室內(nèi)濕度控制（control)也被認為可以用來減少和消除凈化車間靜電。GMP凈化車間GMP要求制藥、食品等生產(chǎn)企業(yè)應具備良好的生產(chǎn)設備，合理的生產(chǎn)過程，完善的質量管理和嚴格的檢測系統(tǒng)，確保最終產(chǎn)品質量（包括食品安全衛(wèi)生等）符合法規(guī)要求。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷(electric charge)流過該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也將減少。一般來說，濕度越低，產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時也會產(chǎn)生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環(huán)境中，凈化車間生產(chǎn)人員可能會感覺十分不舒服，零部件可能生銹，并產(chǎn)生可焊性問題。同時，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費的，尤其在干燥地區(qū)更是如此。