???規(guī)定無(wú)塵室潔凈區(qū)的控制指標(biāo)和檢測(cè)方法，有效的控制十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度，滿足生產(chǎn)環(huán)境的要求。

2　范圍

???本規(guī)程適用本公司十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度檢驗(yàn)。

3　檢驗(yàn)方法

3.1　檢驗(yàn)項(xiàng)目

???溫度、濕度、壓差、風(fēng)速（換氣次數(shù)）、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)

3.2　溫度、濕度

3.2.1　要求

???十萬(wàn)級(jí)/三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)溫度（18-26）℃，相對(duì)濕度（45-65）%

3.2.2　儀器與設(shè)備

???溫濕度計(jì)

3.2.3　操作方法

???目測(cè)溫濕度計(jì)。

3.2.4　測(cè)定頻次?

1次/班。

3.3　靜壓差

3.3.1　要求

潔凈室與室外壓差≥10Pa，潔凈室與非潔凈室≥5Pa不同級(jí)別潔凈室之間≥5Pa。

3.3.2　儀器與設(shè)備：補(bǔ)償式微壓計(jì)

3.3.3　操作方法

???用補(bǔ)償式微壓計(jì)測(cè)試各室的靜壓力，由兩室靜壓力之差，為靜壓差。

3.3.4　測(cè)定頻次：1次/月

3.4　換氣次數(shù)

3.4.1　要求

???十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù)>15次

三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù)>12次

3.4.2　儀器與設(shè)備：熱球式電風(fēng)速計(jì)。

3.4.3　操作方法距風(fēng)口下25cm處測(cè)量

3.4.3.1　用風(fēng)速計(jì)風(fēng)速，采樣點(diǎn)為風(fēng)口的四個(gè)頂角及中心位置（不少于5點(diǎn)）。計(jì)算5個(gè)點(diǎn)風(fēng)速平均值。為一個(gè)風(fēng)口的風(fēng)速。

3.4.3.2　換算公式：

??????????????????∑（高效風(fēng)口風(fēng)速×高效風(fēng)口面積）

????換氣次數(shù)=?──────────────────

??????????????????????????????被測(cè)間體積

3.4.4　測(cè)定頻次：1次/月

3.5　塵埃粒子數(shù)

3.5.1　要求

十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù)：?≥0.5μm：≤3500個(gè)/L

?????????????????????????≥5.0μm：≤20個(gè)/L

三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù)：≥0.5μm：≤10500個(gè)/L

≥5.0μm：≤60個(gè)/L

3.5.2　儀器與設(shè)備：塵埃粒子計(jì)數(shù)儀

3.5.3　采樣點(diǎn)

根據(jù)面積，要求最少采樣點(diǎn)見下表：

3.5.4　操作方法

用塵埃粒子計(jì)數(shù)儀在高度1米水平面上的位置采樣，每層采樣點(diǎn)不少于5點(diǎn)，每個(gè)采樣點(diǎn)采樣次數(shù)不少于5次。采樣點(diǎn)見附件1。??

3.5.5　換算公式

?????????????5次測(cè)量數(shù)的總和

塵埃粒子數(shù)=?─────────

???????????????????5

3.5.6　測(cè)定頻次 ：1次/季

3.6　菌落數(shù)

3.6.1　要求

??浮游菌?十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤500個(gè)/m3

??沉降菌?十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤10個(gè)/皿

??????????三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤15個(gè)/皿

3.6.2　檢測(cè)方法

按《微生物檢驗(yàn)規(guī)范》的規(guī)定進(jìn)行。

3.6.5　測(cè)定頻次：浮游菌?1次/季；沉降菌?1次/周

4　測(cè)定條件

4.1　當(dāng)新潔凈區(qū)投入使用前，進(jìn)行一次靜態(tài)環(huán)境監(jiān)測(cè)，監(jiān)測(cè)時(shí)，潔凈區(qū)內(nèi)所有物品均應(yīng)到位，檢測(cè)區(qū)內(nèi)只留檢測(cè)人員，檢測(cè)結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應(yīng)重新對(duì)凈化系統(tǒng)進(jìn)行檢查，查找原因，進(jìn)行整改后，再進(jìn)行檢測(cè)，合格后方可投入使用，否則不得進(jìn)入生產(chǎn)。

4.2　所有在用潔凈區(qū)，按本規(guī)程的要求進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢測(cè)，檢測(cè)結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術(shù)品質(zhì)部告知生產(chǎn)部，通知超標(biāo)車間停產(chǎn)，由生產(chǎn)部、技術(shù)品質(zhì)部、生產(chǎn)車間組織人員查找原因，進(jìn)行整改后，再進(jìn)行檢測(cè)，合格后方可投入使用。

附件1?塵埃粒子檢測(cè)點(diǎn)

附件2?沉降菌檢測(cè)點(diǎn)

附件3?浮游菌檢測(cè)點(diǎn)

原文