IEST-RP-CC006.3：潔凈室的測(cè)試

測(cè)試潔凈室和清潔區(qū)域的首要目的是確定它們的操作性能?，F(xiàn)有的“IEST RP-CC006.3：潔凈室的測(cè)試”，提供了一套經(jīng)過(guò)檢驗(yàn)而且是標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試程序，它可以確定潔凈室和清潔區(qū)域的性能。測(cè)試程序共分為兩類(lèi)：初步測(cè)試和中級(jí)測(cè)試。初步測(cè)試與潔凈室空氣傳播微粒的清潔度分類(lèi)或者驗(yàn)證有著密切的關(guān)系，測(cè)試內(nèi)容包含下列部分：氣流量、速度和均勻度測(cè)試；HEPA和ULPA過(guò)濾器安裝測(cè)試；空氣傳播微粒計(jì)算測(cè)試；室內(nèi)加壓測(cè)試。中級(jí)測(cè)試包括與潔凈室或者潔凈區(qū)域有關(guān)的其他特性，指定的驗(yàn)收范圍由以下內(nèi)容組成：可視化氣流特征測(cè)試；光照度和光照均勻度測(cè)試；噪聲級(jí)測(cè)試；溫度和濕度的均勻的測(cè)試；振動(dòng)測(cè)試。我們可能需要在一個(gè)或者多個(gè)操作狀態(tài)下，即空態(tài)，靜態(tài)或者操作狀態(tài)。
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進(jìn)行性能測(cè)試。在這個(gè)文獻(xiàn)中并沒(méi)有對(duì)測(cè)試的順序做出明確的規(guī)定，然而，在通常情況下，最好是以首選的順序來(lái)執(zhí)行某些測(cè)試。例如，對(duì)于單向性潔凈室而言，建議采用以下順序：氣流量或者氣流速度測(cè)試（6.1部分）；可視化氣流特征測(cè)試（6.5部分）；室內(nèi)加壓測(cè)試（6.4部分）?

推薦做法（RP）有望幫助規(guī)劃人員、設(shè)計(jì)人員、制造商和用戶(hù)，預(yù)備測(cè)試的詳盡的技術(shù)規(guī)范，保證潔凈室運(yùn)行符合要求。根據(jù)協(xié)議規(guī)定，用戶(hù)將針對(duì)自己的潔凈室選擇適當(dāng)?shù)臏y(cè)試，并制定使用潔凈室所必需的驗(yàn)收范圍。推薦做法還可能用來(lái)為專(zhuān)用潔凈室編寫(xiě)內(nèi)部測(cè)試程序。?

推薦做法還針對(duì)各種測(cè)試方法推薦了相應(yīng)的測(cè)試設(shè)備。如果潔凈室的類(lèi)型（即單向性潔凈室或非單向潔凈室）影響了測(cè)試的方法，那么，這時(shí)就可以采用替代的測(cè)試程序。對(duì)于一些測(cè)試程序來(lái)說(shuō)，可以有兩種以上的測(cè)試方法或者測(cè)試設(shè)備，因此，它們能夠滿足最終用戶(hù)所關(guān)注的問(wèn)題的要求。在使用替代的方法時(shí)，最終用戶(hù)應(yīng)該知道，通過(guò)不同的方法所得出的結(jié)果可能并不一致。?

在通常情況下，推薦做法沒(méi)有提供相關(guān)的驗(yàn)收范圍，而只是提供了用來(lái)確定適當(dāng)界限的標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語(yǔ)。此外，推薦做法沒(méi)有完全包括所有可以用來(lái)描述潔凈室操作參數(shù)特性的測(cè)試，例如，粒子沉淀速度，空氣分子污染物，微生物，靜電放電（ESD），復(fù)原測(cè)試和污染泄漏測(cè)試，以及其他未提及的測(cè)試。?

基本測(cè)試?
氣流量、速度和均勻度測(cè)試。這些測(cè)試決定了單向性潔凈室和潔凈區(qū)域的氣流速度和均勻度，以及潔凈室的送風(fēng)量的流動(dòng)速度和送風(fēng)量的均勻度。測(cè)試通常要么對(duì)氣流速度有要求，要么對(duì)氣流量有要求，并且可以從平均速度、平均流量或者總流量中得出結(jié)論。根據(jù)總流量，可以確定空氣的換氣次數(shù)。?

HEPA的ULPA過(guò)濾器的安裝泄漏測(cè)試。這些測(cè)試可以用來(lái)確定HEPA或者ULPA過(guò)濾器系統(tǒng)的完整性。這個(gè)測(cè)試通過(guò)在HEPA或者ULPA過(guò)濾器的上游引入測(cè)試用氣溶膠，同時(shí)，在過(guò)濾器的下游，包括從過(guò)濾器到邊框密封，執(zhí)行完整性掃描測(cè)試來(lái)實(shí)現(xiàn)。這個(gè)推薦做法參考了“IEST-RP-CC034：HEPA和ULPA過(guò)濾器泄漏測(cè)試”，它詳細(xì)地描述了這部分的測(cè)試。?

懸浮微粒計(jì)算測(cè)試。這個(gè)測(cè)試能夠確定處于完全的空態(tài)、靜態(tài)或者操作狀態(tài)下的潔凈室是否符合“ISO 14644-1:1999”對(duì)特定空氣清潔度的細(xì)致分類(lèi)。在通常情況下，它指的是在ISO標(biāo)準(zhǔn)中所記載的測(cè)試方法。?

室內(nèi)加壓測(cè)試。這個(gè)測(cè)試用來(lái)驗(yàn)證潔凈室與周?chē)h(huán)境之間能否保持指定的靜壓差的能力，包括上方和下方與潔凈室相鄰的空間。一般說(shuō)來(lái)，潔凈室會(huì)有一個(gè)正壓，然而，對(duì)于某些需要防止泄漏的應(yīng)用而言，包含毒性、生物或者放射性材料的應(yīng)用，必須規(guī)定具有負(fù)壓。?

中級(jí)測(cè)試?
可視化氣流特征測(cè)試。這個(gè)測(cè)試的目的在于可視化地描述整個(gè)工作區(qū)域內(nèi)多個(gè)位置和相鄰的地方主要的氣流方向（流動(dòng)矢量）。這個(gè)試驗(yàn)證潔凈室控制氣流的傳播能力，以此確定空氣污染的來(lái)源。這里共提供了兩種測(cè)試方法：流線測(cè)試和氣溶膠散布測(cè)試。?

光照度和光照均勻度測(cè)試。這個(gè)測(cè)試的目的在于驗(yàn)證在潔凈室里的光照度和光照均勻度是否符合指定的要求。?
噪聲級(jí)測(cè)試。這個(gè)測(cè)試的目的在于測(cè)量由潔凈室的機(jī)械系統(tǒng)和電子系統(tǒng)以及由鄰近的外部區(qū)域所產(chǎn)生的聲壓級(jí)，驗(yàn)證他們是否符合最終用戶(hù)的要求。?

溫度和濕度的均勻度測(cè)試。這些測(cè)試的目的是用來(lái)確定空氣調(diào)節(jié)器能否使溫度和濕度（表現(xiàn)為相對(duì)濕度或者露點(diǎn)）在最終用戶(hù)指定的時(shí)間段內(nèi)保持在規(guī)定的范圍內(nèi)。這些測(cè)試方法分為兩個(gè)級(jí)別，即常規(guī)測(cè)試和全面測(cè)試。全面測(cè)試需要對(duì)潔凈室進(jìn)行剖析，確定均勻度，而常規(guī)測(cè)試只需要在每個(gè)溫度控制區(qū)域內(nèi)設(shè)置一個(gè)測(cè)試位置即可。?
振動(dòng)測(cè)試。這個(gè)測(cè)試的目的在于確定潔凈室結(jié)構(gòu)的振動(dòng)級(jí)別以及它的構(gòu)成，以驗(yàn)證潔凈室能否符合最終用戶(hù)的要求。這個(gè)推薦做法有一個(gè)常規(guī)的測(cè)試程序，而且參考了“IEST-RP-CC024：微電子工廠的振動(dòng)測(cè)量與報(bào)告”，那里有更詳細(xì)的測(cè)試要求。?

當(dāng)前在文獻(xiàn)方面的工作?
006工作組對(duì)IEST-RP-CC006.3進(jìn)行評(píng)估，以確定這個(gè)文獻(xiàn)在哪些地方需要進(jìn)行修訂。結(jié)果是，該工作組目前正在討論以下議題：復(fù)原速度測(cè)試；氣流的可視化；表面的傳導(dǎo)性測(cè)試；以及在進(jìn)行氣流量、速度和均勻度測(cè)試和室內(nèi)加壓測(cè)試時(shí)，測(cè)試儀器的精確度與測(cè)試項(xiàng)目的關(guān)系。?

結(jié)束語(yǔ)?
“ISO 14644 潔凈室與相關(guān)控制環(huán)境（第三部分）：測(cè)試方法”作為現(xiàn)行的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)草案（FDIS），涵蓋了目前IEST-RP-CC006.3里論述的大量的測(cè)試方法。這個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)草案還引用了源自IEST-RP-CC006.3和IEST-RP-CC034.2文獻(xiàn)里的許多附加材料。ISO 14644-3有望于2005年底之前成為正式的標(biāo)準(zhǔn)。?

作者簡(jiǎn)介?
Robert L. Mielke是Abbott實(shí)驗(yàn)室的首席測(cè)試工程師，該實(shí)驗(yàn)室總部設(shè)于美國(guó)伊利諾斯州北芝加哥——他是環(huán)境科學(xué)與技術(shù)協(xié)會(huì)（IEST）的委員。Mielke擔(dān)任IEST標(biāo)準(zhǔn)與實(shí)務(wù)主席這個(gè)職務(wù)已有八年了，并且，分別在1995年至1997年和1999年至2001年兩次被任命為“污染控制”的技術(shù)副主席。他在保證IEST和美國(guó)的ISO/TC 209秘書(shū)處的正常運(yùn)作方面起到非常關(guān)鍵的作用，并且，將繼續(xù)擔(dān)任該機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人。Mielke目前是IEST 006工作組的主席。?

潔凈室測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)展?

自上世紀(jì)六十年代起，潔凈室測(cè)試學(xué)科已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)和推薦做法的成果的焦點(diǎn)。論述潔凈室測(cè)試的最早的標(biāo)準(zhǔn)之一，是出版于1963年的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209 （FED-STD-209），它有一個(gè)非強(qiáng)制性的補(bǔ)充指導(dǎo)附錄部分，專(zhuān)門(mén)針對(duì)潔凈室的測(cè)試。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的修訂版A和修訂版B在附錄中也包含了潔凈室的測(cè)試。對(duì)于如何進(jìn)行潔凈室的測(cè)試，還有許多私營(yíng)企業(yè)或者公司的特定的程序。第一個(gè)在美國(guó)出現(xiàn)的涵蓋了潔凈室測(cè)試的推薦做法，是美國(guó)污染控制協(xié)會(huì)（A2C2）命名為“清潔室”的CS-6文獻(xiàn)，它出版于1970年。隨著美國(guó)污染控制協(xié)會(huì)合并到隨后成立的環(huán)境科學(xué)協(xié)會(huì)（IES）中，這些文獻(xiàn)也就成為IES的組成部分。?
環(huán)境科學(xué)與技術(shù)協(xié)會(huì)（IEST）的污染控制部門(mén)，就是該協(xié)會(huì)早在1982年最先為編寫(xiě)推薦做法而成立的工作組（WG）。其中，最早成立的工作組之一是WG-CC006——潔凈室測(cè)試。自該工作組創(chuàng)建至今，共刊印了三個(gè)文獻(xiàn)，即1984年出版的IES-RP-CC-006-84T，1997年出版的IEST-RP-CC006.2和2004年出版的IEST RP-CC006.3。?
ISO技術(shù)協(xié)會(huì)209 （ISO/TC 209）自1992年成立之日起，就已決定要逐漸形成一個(gè)包含潔凈室測(cè)試的文獻(xiàn)。結(jié)果是，1993年在ISO/TC 209內(nèi)成立了工作組3，因此也就有了ISO 14644-3。