人體是最常見(jiàn)的靜電源，因?yàn)殪o電會(huì)降低產(chǎn)品的優(yōu)良率，電磁干擾會(huì)中斷自動(dòng)設(shè)備的運(yùn)行，靜電吸附會(huì)增加收集表面顆粒的難度。凈化車(chē)間優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。無(wú)塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。所以有必要控制靜電的產(chǎn)生。由于靜電能將污染物吸附在產(chǎn)品或工具的表面，靜電吸附已成為潔凈室的研究熱點(diǎn)。

電子工業(yè)中潔凈工廠的靜電危害主要表現(xiàn)為：

1.吸塵。由于靜電吸附，潔凈的室內(nèi)空氣顆粒被吸附在電子元件和壁面上，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。靜電也成為潔凈室里一種新的灰塵來(lái)源。

2.引發(fā)火災(zāi)和爆炸。在電子工業(yè)潔凈室中，大量使用易燃易爆氣體，液體和有機(jī)溶劑。靜電可能成為這些氣體和溶劑的點(diǎn)火源，引起火災(zāi)或爆炸。

三。電暈放電或火花放電會(huì)發(fā)出噪音并干擾電子設(shè)備和電子元件。

4.產(chǎn)生靜電場(chǎng)、短路、電子元件疲勞或損壞。

要控制人體的靜電，最有效的措施是將人體與地球，即地面連接起來(lái)。因此，要安裝防靜電復(fù)合橡膠板，使用防靜電地線連接良好，資金充足，可選用防靜電活動(dòng)地板防靜電鞋。為了保持人體與地球的連接，要求地面也是防靜電的，可以將人體的靜電引入地面，使地面可以由防靜電的地面墊構(gòu)成，如果機(jī)房的建筑已經(jīng)固定，設(shè)備安裝得很好，并且不想由于安裝防靜電設(shè)備而導(dǎo)致這些設(shè)備的生產(chǎn)，還可以選擇使用防靜電地板墊和防靜電復(fù)合橡膠板，具有價(jià)格低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。

具體的防靜電措施如下：

1。建立標(biāo)準(zhǔn)接地系統(tǒng)。

2.對(duì)人員的靜電保護(hù)。在潔凈室內(nèi)工作的人是最大的靜電來(lái)源。

(1)操作人員穿著防靜電潔凈衣物(如圖所示)、防靜電手套和腕帶；

2）操作員圍繞靜態(tài)敏感設(shè)備進(jìn)行行為控制培訓(xùn)。

三。潔凈室外殼結(jié)構(gòu)的防靜電，包括墻壁、門(mén)、窗、天花板和地板。使用高導(dǎo)電性材料。

4.在生產(chǎn)和操作區(qū)域使用防靜電地面。

主要研究結(jié)果如下：1)地層具有導(dǎo)電性，長(zhǎng)期保持性能穩(wěn)定；

2）表面層由靜電耗散材料制成;

3）采取鋪設(shè)接地網(wǎng)等靜電放電措施。

5.應(yīng)控制濕度，相對(duì)濕度應(yīng)控制在40-70%。

6.在生產(chǎn)區(qū)，在供氣管和供氣管出口處安裝離子風(fēng)機(jī)。

7.諸如工作臺(tái)，座椅，推車(chē)，存儲(chǔ)架，手提箱，工具等材料需要具有防靜電功能。

8。用于包裝靜電敏感器件的塑料袋應(yīng)具有防靜電功能。

9.零部件、半成品和產(chǎn)品的轉(zhuǎn)船要求符合抗靜電要求。

10.對(duì)于可能造成靜電危害的設(shè)備，流動(dòng)液體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。