無塵室測試范圍介紹

無塵室測試范圍介紹

凡是和無塵室環(huán)境控制有關的因素，都在無塵室認證的范圍之內。在無塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位?應就以下幾個主題做詳細討論并達成協(xié)議，以利測試進行。

1. 待測無塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網位置、與數(shù)量

2. 測試的目的

3. 測試程序

4. 使用儀器

5. 測試報告撰寫方式與內容

6. 工期
   

在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進行，發(fā)現(xiàn)問題時也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。

IEST-0062有一個表說明測試項目，以及適用狀態(tài)，具有相當參考價值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1 

測試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序

1:測試適用于As-built狀態(tài)
2:測試適用于At-rest狀態(tài)
3:測試適用于Operational狀態(tài) 

N/A:代表該測試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態(tài)下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定

由上表可看出，風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因為不易受干擾。

風速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因為容易受干擾。當然這是IEST的建議，我們可以自行決定。

至于測試的項目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說明如下。

第一級〈Level I〉:第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關的測試都屬第一級，每個無塵室都應至少應做的測試。

第一級測試項目包括：

A.風速量測
B.風量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網泄漏測試
E.潔凈度測試
F.壓力量測

第二級〈Level   II〉:第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關，但是只有在特殊情況下才需要進行。

A.氣流平行度量測〈只適用層流型〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢復率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉

第三級〈Level   III〉:第三級測試就與氣流無關，都是屬于環(huán)境因素。

A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動測試
D.溫濕度測試

這里說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項測試程序，當然這些程序是NEBB所認定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合NEBB標準。

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